于佳琪
- 作品数：11 被引量：46H指数：4
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 单片集成八梁臂三轴加速度计
- 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
- 张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
- 文献传递
- 基于Si-SOI键合的微电容超声波换能器设计
- 微电容超声波换能器（CMUT）具有高灵敏度、宽频带、高机电转换效率、硅材料与介质阻抗匹配好、易于加工尺寸多样的微型器件、适合制造大阵列、批量化生产等优势，在工业控制、环保设备、医疗设备、航空航天及水下探测等领域有迫切的需...
- 于佳琪
- 关键词：MEMSANSYS
- 文献传递
- 单片集成MEMS压阻超声传感器
- 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位...
- 薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
- 单片集成八梁臂三轴加速度计
- 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
- 张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
- MEMS电容式超声传感器设计被引量：15
- 2013年
- 在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能。利用ANSYS静电-结构耦合仿真给出了塌陷电压。介绍了敏感单元的工艺流程。所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24fF/Pa,塌陷电压为70V,量程为48kPa。
- 于佳琪何常德张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋
- 关键词：阳极键合
- 单片集成MEMS压阻超声传感器
- 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位...
- 薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
- 文献传递
- 基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计被引量：18
- 2012年
- 针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜,无需沉积分立电极,易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联,避免了非活跃区的寄生电容。通过ANSYS及MATLAB对所设计的5种工作频率在124 kHz～484 kHz之间、满足水下成像需求的传感器结构进行性能分析,表明传感器的电容变化量为650.62 fF/Pa～10.827 fF/Pa,满足现有条件的信号检测,输出电压灵敏度可达1.700 mV/Pa。与同频率指标的传统基于牺牲工艺而制备的金属-氮化膜堆栈结构对比表明,本结构频率可预测性高,偏差仅为0.0535%;振膜变形更均匀,归一化位移提高0.0432%以上;灵敏度平均提高11.9249 dB。
- 苗静何常德廉德钦张慧于佳琪宛克敬薛晨阳张文栋
- 关键词：超声传感器电容
- 基于阳极键合技术的MEMS电容式超声传感器
- 本发明为一种基于阳极键合技术的MEMS电容式超声传感器，解决了传统的电容式超声传感器结构设计不合理、灵敏度低、杂散电容大等问题。本发明包括通过阳极键合技术键合在一起的一体化下电极和图形化上电极，一体化下电极包括上表面开设...
- 薛晨阳崔永俊李玉平何常德张国军王红亮于佳琪苗静张慧
- 文献传递
- MEMS压阻式加速度传感器的优化设计被引量：10
- 2012年
- 提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用"四悬臂梁-质量块"结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比,得出该传感器具有更高的抗横向耦合性,约为八悬臂梁结构的30倍。
- 杜春晖何常德葛晓洋于佳琪熊继军张文栋
- 关键词：压阻式加速度传感器
- 矢量水听器的芯片级减震结构的设计被引量：3
- 2011年
- 在MEMS矢量水听器现有结构的基础上,设计出一种新型弹簧减震结构,期望利用该结构提高水听器抗噪能力。根据Ansys有限元仿真,确定出该弹簧的几何尺寸、劲度系数(k≈5 N/m)及弹簧的所在位置——弹簧设置为内外圈相互垂直的两对。仿真结果表明,该减震结构抑制流噪声能力可提高3倍以上,同时几乎不影响水听器的接收灵敏度。该芯片级弹簧减震结构具有一次集成、一致性好、易于组阵、工程应用方便等特点。
- 刘细宝张国军薛晨阳许姣王晓瑶于佳琪李辉
- 关键词：矢量水听器减震ANSYS劲度系数
