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宋慧君

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：青岛大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇低阻
  • 1篇氧化铟
  • 1篇氧化镱
  • 1篇退火
  • 1篇迁移
  • 1篇迁移率
  • 1篇热退火
  • 1篇晶体管
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管

机构

  • 1篇青岛大学

作者

  • 1篇刘国侠
  • 1篇刘奥
  • 1篇单福凯
  • 1篇宋慧君

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种高k氧化镱介电薄膜的制备方法及其在薄膜晶体管中的应用
本发明公开了一种高k氧化镱介电薄膜的制备方法及其在薄膜晶体管中的应用，本发明结合水性氧化铟(In<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>)半导体沟道层制备全水性薄膜晶体管(TFT)。选用低阻硅作为基底和栅电极，...
单福凯宋慧君刘国侠刘奥
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