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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇灯丝
  • 1篇等离子体
  • 1篇阳极
  • 1篇注入机
  • 1篇离子
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  • 1篇绝缘子

机构

  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇邹昭伟
  • 1篇刘道广
  • 1篇刘兴钊
  • 1篇刘玉奎
  • 1篇印子华
  • 1篇王保刚
  • 1篇刘登华

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇2005
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
离子源灯丝绝缘子的优化设计
2005年
通过对离子注入机离子源灯丝绝缘子的结构、尺寸、实际工作效果等方面的分析,提出了一种注入机离子源灯丝绝缘子的优化设计。该方案减少了离子源因绝缘效果不良引起的系统工作不稳定故障,灯丝使用寿命延长至50 h以上。
刘登华刘道广刘兴钊刘玉奎印子华邹昭伟王保刚
关键词:离子注入机离子源等离子体灯丝阳极
共1页<1>
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