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王保刚
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中国电子科技集团第二十四研究所
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相关领域:
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合作作者
刘登华
中国电子科技集团第二十四研究所
印子华
中国电子科技集团第二十四研究所
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电子科技大学微电子与固体电子学...
刘道广
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2005
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离子源灯丝绝缘子的优化设计
2005年
通过对离子注入机离子源灯丝绝缘子的结构、尺寸、实际工作效果等方面的分析,提出了一种注入机离子源灯丝绝缘子的优化设计。该方案减少了离子源因绝缘效果不良引起的系统工作不稳定故障,灯丝使用寿命延长至50 h以上。
刘登华
刘道广
刘兴钊
刘玉奎
印子华
邹昭伟
王保刚
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