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印子华

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇灯丝
  • 1篇等离子体
  • 1篇阳极
  • 1篇图形发生器
  • 1篇注入机
  • 1篇离子
  • 1篇离子源
  • 1篇离子注入
  • 1篇离子注入机
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘子
  • 1篇激光
  • 1篇激光图形发生...
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备

机构

  • 2篇中国电子科技...
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 2篇邹昭伟
  • 2篇刘玉奎
  • 2篇印子华
  • 1篇刘道广
  • 1篇刘兴钊
  • 1篇邓建国
  • 1篇王保刚
  • 1篇刘登华

传媒

  • 2篇微电子学

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
EM-5009B激光图形发生器光栏的修正方法
2005年
激光图形发生器是半导体掩膜制版的主要设备之一,它具有精度高、结构复杂、操作简单和生产效率高等特点,但是,其光栏精度对加工的版图精度有很大的影响。文章根据光栏的结构原理和实际应用,详细阐述了EM-5009B激光图形发生器光栏的修正方法。
邓建国刘玉奎印子华邹昭伟
关键词：半导体设备激光图形发生器
离子源灯丝绝缘子的优化设计
2005年
通过对离子注入机离子源灯丝绝缘子的结构、尺寸、实际工作效果等方面的分析,提出了一种注入机离子源灯丝绝缘子的优化设计。该方案减少了离子源因绝缘效果不良引起的系统工作不稳定故障,灯丝使用寿命延长至50 h以上。
刘登华刘道广刘兴钊刘玉奎印子华邹昭伟王保刚
关键词：离子注入机离子源等离子体灯丝阳极
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共1页<1>
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