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叶青
作品数:
1
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供职机构:
华中科技大学光学与电子信息学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
汪礼胜
武汉理工大学理学院物理科学与技...
徐静平
华中科技大学光学与电子信息学院
朱述炎
华中科技大学光学与电子信息学院
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朱述炎
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徐静平
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汪礼胜
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叶青
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微电子学
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2014
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高k栅介质InGaAs MOSFET结构的设计与仿真
2014年
利用半导体仿真工具Silvaco TCAD,研究了高k栅介质InGaAs MOSFET的三种结构:缓冲层结构、侧墙结构和基本结构。通过对三种结构MOSFET的阈值电压、亚阈值摆幅以及漏源电流进行比较分析,得出缓冲层结构InGaAs MOSFET具有最佳的电学特性,侧墙结构的MOSFET次之。进一步分析发现,当缓冲层结构InGaAs MOSFET的沟道厚度大于80nm时,可获得稳定的电性能。
朱述炎
叶青
汪礼胜
徐静平
关键词:
MOSFET
INGAAS
高K栅介质
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