王建峰
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：河北半导体研究所更多>>
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- 隧穿型量子效应薄膜材料制备技术
- 探讨了隧穿型量子效应薄膜材料制备技术,并应用分子束外延方法制备了典型结构外延材料 GaAs 基共振隧穿二极管,经过器件验证,得到了较好的结果。重点讨论了关键制备技术,包括束流精细控制和间歇式生长方式,主要是为了生长出更接...
- 商耀辉武一宾卜夏正牛晨亮王建峰李亚丽张雄文
- 关键词：分子束外延共振隧穿二极管
- 文献传递
- 隧穿型量子效应薄膜材料制备技术
- 2007年
- 探讨了隧穿型量子效应薄膜材料制备技术,并应用分子束外延方法制备了典型结构外延材料GaAs基共振隧穿二极管,经过器件验证,得到了较好的结果.重点讨论了关键制备技术,包括束流精细控制和间歇式生长方式,主要是为了生长出更接近完美的晶体结构和晶体表面,并分析了测试结果和器件验证结果,最终得出整套隧穿型量子效应薄膜材料制备技术.
- 商耀辉武一宾卜夏正牛晨亮王建峰李亚丽张雄文
- 关键词：分子束外延共振隧穿二极管
