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王芳

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：东北微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇自对准
  • 1篇自对准工艺
  • 1篇硅化钛
  • 1篇SOI

机构

  • 1篇辽宁大学
  • 1篇东北微电子研...

作者

  • 1篇永福
  • 1篇王莉
  • 1篇宋哲
  • 1篇石广源
  • 1篇张丽
  • 1篇王芳

传媒

  • 1篇辽宁大学学报...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SOI自对准硅化钛工艺研究被引量：1
2005年
阐述了SOI硅化钛的相关问题,采用两步快速热退火工艺形成低电阻的TiSi2,通过实验得出2次快速热退火的最佳时间和温度,形成良好的SOI自对准硅化钛工艺.
石广源王莉宋哲永福张丽王芳
关键词：SOI硅化钛自对准工艺
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共1页<1>
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