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方磊
方磊
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供职机构:
安徽大学
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相关领域:
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安徽大学
陈军宁
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1篇
LDD
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MOSFET
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安徽大学
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陈军宁
1篇
代月花
1篇
方磊
传媒
1篇
微电子学
年份
1篇
2011
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复合多晶硅栅LDD MOSFET制造工艺研究
2011年
通过工艺模拟软件TSUPREM,设计了一种复合多晶硅栅(DDPG-MOS FET)的制造工艺,并使用MEDICI软件对采用该工艺的器件的频率特性和瞬态特性进行分析。结果表明,DDPG-MOS制造工艺简单、完全与CMOS工艺兼容,其结构明显改善了传统MOSFET的多项性能,在射频领域具有很好的应用前景。
方磊
代月花
陈军宁
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MOSFET
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