您的位置： 专家智库 > >

李保军

作品数：2 被引量：14H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇单晶
  • 1篇单晶片
  • 1篇研磨剂
  • 1篇砂浆
  • 1篇抛光片
  • 1篇中砂
  • 1篇位错
  • 1篇位错密度
  • 1篇金相
  • 1篇金相显微镜
  • 1篇晶片
  • 1篇晶向
  • 1篇硅单晶
  • 1篇锗

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇李保军
  • 1篇佟丽英
  • 1篇张伟才
  • 1篇高丹
  • 1篇赵权
  • 1篇冯涛

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
一种偏离&lt;100&gt;晶向9<Sup>o</Sup>锗单晶片位错密度测量方法
本发明公开了一种偏离&lt;100&gt;晶向9º锗单晶片位错密度测量方法，包括配制腐蚀液：氢氟酸、硝酸和硝酸铜水溶液体积比为1：2.8‑3.2：1.8‑2.2；腐蚀：将锗抛光片置于花篮中，将花篮放入腐蚀液中，腐蚀时间为...
高丹佟丽英赵权张伟才武永超李保军
文献传递
硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究被引量：14
2007年
目前,在较长的硅单晶锭切割领域,多线切割机已基本取代内圆切片机。切割砂浆在切割中有着极其重要的作用,不同的使用条件会直接影响切割晶片的几何参数。讨论了砂浆的使用条件与切割质量之间的关系,通过试验及对高速摄像机拍摄照片的分析,得出不同砂浆携带方式直接影响到切割出晶片几何参数的结论,并且对多线切割的切割机理作了相应的讨论。
李保军冯涛
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0