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王傲尘

作品数：6 被引量：10H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：河北省自然科学基金河北省教育厅科研基金国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信理学更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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