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赵玲利

作品数：64 被引量：77H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：北京市服装材料研究开发与评价重点实验室资助项目更多>>
相关领域：电子电信轻工技术与工程理学医药卫生更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院
研究主题：催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
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中国科学院光电研究院
研究主题：激光 激光器 浮空器 飞艇 准分子激光器
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中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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