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时慧玲

作品数：4 被引量：16H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金天津市科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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