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陈亚楠
作品数:
12
被引量:28
H指数:3
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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发文基金:
国家科技部专项基金
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
王云彪
中国电子科技集团公司第四十六研...
赵权
中国电子科技集团公司第四十六研...
张春翔
中国电子科技集团公司第四十六研...
武永超
中国电子科技集团公司第四十六研...
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王云彪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 单晶片 表面粗糙度 清洗技术
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张春翔
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 P型 单晶片 多结太阳电池 清洗技术
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田原
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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武永超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:超薄 化学机械抛光 半导体行业 激光技术 激光打标
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耿莉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 超薄 表面粗糙度 单晶
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何远东
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 翘曲度 表面粗糙度 单晶 清洗液
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杨红星
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光 贴膜
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