张春翔
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 抛光垫使用寿命对硅单晶片抛光质量影响的研究被引量：3
- 2015年
- 化学机械抛光技术已经在超大规模集成电路制造中得到广泛应用,主要用于加工超光滑无损伤的硅单晶衬底和对晶片进行局部和全局平坦化。虽然在化学机械抛光技术中影响硅片抛光效果的因素有很多,但抛光垫是影响抛光效果的关键因素之一。研究了抛光垫使用时间和相应时间硅片的抛光效果之间的关系,指出可通过在抛光过程中控制抛光垫的使用时间,对抛光的工艺参数进行更好的调整。
- 张春翔陈亚楠田原杨召杰付旸
- 关键词：化学机械抛光抛光垫抛光效果
- 多结太阳电池用P型锗单晶片去蜡技术研究被引量：4
- 2011年
- 在多结太阳电池结构中,P型锗单晶片不仅作为衬底,也是整体电池结构中的一个结。在外延生长过程中,需要进行多次异质外延生长,因此,对P型锗单晶片的表面质量提出了更高的要求。通过对P型锗片去蜡技术的研究,提高了锗片表面质量,降低了外延生长过程中雾缺陷的比例。
- 杨洪星张伟才陈亚楠王斌张春翔刘春香赵权
- 关键词：锗清洗技术多结太阳电池
