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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张津
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 IC 光刻 调平 亚半微米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王继红
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:望远镜 大气光学 主镜 数值仿真 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡淞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:分步重复光刻机 调平 投影光刻机 套刻 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旭南
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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