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唐小平
唐小平
作品数:
3
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张津
中国科学院光电技术研究所
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
王继红
中国科学院光电技术研究所
胡淞
中国科学院光电技术研究所
陈旭南
中国科学院光电技术研究所
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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张津
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 IC 光刻 调平 亚半微米
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王继红
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:望远镜 大气光学 主镜 数值仿真 光刻机
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胡淞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:分步重复光刻机 调平 投影光刻机 套刻 光刻
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供职机构
所获资助
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陈旭南
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
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