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刘桂林

作品数：2 被引量：7H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金更多>>
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领域

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机构

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  • 5个天津市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
栾晓东
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 碱性 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张玉峰
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 表面活性剂 表面粗糙度 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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