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刘彦松
作品数:
6
被引量:79
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王连卫
中国科学院上海冶金研究所上海微...
林成鲁
中国科学院上海冶金研究所上海微...
黄继颇
中国科学院上海冶金研究所上海微...
宋志棠
中国科学院上海冶金研究所上海微...
刘尔凯
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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黄继颇
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:ALN薄膜 氮化铝 离子注入 碳化硅 半导体
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刘尔凯
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 压电薄膜 氮化铝 过渡层 金刚石薄膜
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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多新中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
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李伟群
供职机构:上海科学院
研究主题:脉冲激光淀积 ZNO薄膜
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李伟群
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:氧化锌薄膜 PLD法 压电性 脉冲激光淀积 声表面波器件
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