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刘彦松

作品数：6 被引量：79H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
王连卫
供职机构：华东师范大学
研究主题：微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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黄继颇
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：ALN薄膜 氮化铝 离子注入 碳化硅 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘尔凯
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 压电薄膜 氮化铝 过渡层 金刚石薄膜
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宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
多新中
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟群
供职机构：上海科学院
研究主题：脉冲激光淀积 ZNO薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟群
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题：氧化锌薄膜 PLD法 压电性 脉冲激光淀积 声表面波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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