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董海峰
作品数:
8
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H指数:3
供职机构:
北京大学
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发文基金:
国防科技重点实验室基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
郝一龙
北京大学微电子学研究院
贾玉斌
北京大学微电子学研究院
张文栋
北京大学
沈三民
北京大学
贺玲
中国科学院兰州物理研究所
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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贾玉斌
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:加速度计 电极 MEMS 光开关 谐振
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
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沈三民
供职机构:北京大学
研究主题:差分式 玻璃衬底 阳极键合 加速度计 微型隧道
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贺玲
供职机构:中国科学院兰州物理研究所
研究主题:失重状态 神舟号飞船 振动加速度 MEMS 性能分析
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薛大同
供职机构:兰州空间技术物理研究所
研究主题:静电悬浮加速度计 检漏 加速度计 氦 预充
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雷军刚
供职机构:兰州空间技术物理研究所
研究主题:空间电场 加速度计 探测仪 球壳 静电悬浮加速度计
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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闫桂珍
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
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王颖
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:共晶键合 微电子 自对准 金 硅
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