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赵利川
作品数:
12
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
闫江
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
马小龙
中国科学院微电子研究所
张青竹
贵州大学
李昱东
中国科学院微电子研究所
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闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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马小龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 半导体器件 鳍片 纳米线 堆叠
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许淼
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 FINFET 半导体 穿通 鳍片
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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李昱东
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 超薄 SOI器件 埋氧层 短沟道效应
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张青竹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 纳米片 叠层 金属栅
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
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吴次南
供职机构:贵州大学
研究主题:微波加热 高考 教育公平 杀菌效果 超导转变
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
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