您的位置： 专家智库 > >

胡淞

作品数：6 被引量：24H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：“八五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 4个机械工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个一般工业技术
  • 2个生物学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个航空宇航科学...
  • 1个天文地球
  • 1个化学工程
  • 1个电气工程
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学
  • 1个自然科学总论
  • 1个兵器科学与技...

主题

  • 6个投影光刻
  • 6个投影光刻机
  • 6个微米
  • 6个光刻
  • 6个光刻机
  • 5个电路
  • 5个调平
  • 5个亚微米
  • 5个套刻
  • 5个投影物镜
  • 5个IC
  • 4个亚半微米
  • 4个掩模
  • 3个等离子体
  • 3个电子束曝光
  • 3个电子束曝光机
  • 3个调焦
  • 3个衍射
  • 2个多相位
  • 2个亚稳态

机构

  • 6个中国科学院
  • 1个电子科技大学
  • 1个天津大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个四川省学术和...
  • 1个中科院创新基...
  • 1个“八五”国家...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个成都市科技攻...
  • 1个公益性行业科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院西...
  • 1个中国气象局气...
  • 1个中加国际科技...
  • 1个中国科学院科...
  • 1个青年科技基金

传媒

  • 6个微细加工技术
  • 5个光电工程
  • 3个红外与激光工...
  • 3个光学学报
  • 3个电子工业专用...
  • 3个微纳电子技术
  • 3个第十一届全国...
  • 2个光电子．激光
  • 2个光学精密工程
  • 2个物理
  • 2个光子学报
  • 2个压电与声光
  • 2个中国微米/纳...
  • 1个现代科学仪器
  • 1个世界科技研究...
  • 1个半导体技术
  • 1个地理学报
  • 1个物理学报
  • 1个安徽农业科学
  • 1个电子技术应用

地区

  • 5个四川省
  • 1个西藏
共 6 条 记 录，以下是 1-6
姚汉民
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张津
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻机 IC 光刻 调平 亚半微米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟军
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调平 亚微米 分步重复投影光刻机 分步重复光刻机 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 半导体器件 分步重复投影光刻机 光刻机 大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0