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韩星

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 3个衍射效率
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  • 3个散射
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机构

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资助

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传媒

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  • 1个光学精密工程
  • 1个太阳能学报

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
马斌
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 投影光刻物镜 数值孔径 成像质量 高分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丽辉
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常军
供职机构：北京理工大学
研究主题：大视场 成像 光学系统 反射镜 小凹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄一帆
供职机构：北京理工大学光电学院
研究主题：光学设计 光刻物镜 高分辨率 投影光刻物镜 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李林
供职机构：北京理工大学光电学院
研究主题：光学设计 光学系统 极紫外 太阳 光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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