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陆冰睿

作品数：47 被引量：9H指数：2
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金高等学校科技创新工程重大项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 19个电子电信
  • 13个自动化与计算...
  • 11个理学
  • 9个机械工程
  • 5个医药卫生
  • 5个一般工业技术
  • 4个文化科学
  • 3个经济管理
  • 2个电气工程
  • 2个农业科学
  • 2个政治法律
  • 2个文学
  • 2个艺术
  • 1个哲学宗教
  • 1个生物学
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 20个纳米
  • 17个光刻
  • 14个刻蚀
  • 12个纳米压印
  • 11个离子刻蚀
  • 11个反应离子
  • 11个反应离子刻蚀
  • 10个旋涂
  • 10个感器
  • 10个半导体
  • 10个传感
  • 10个传感器
  • 9个石墨
  • 9个石墨烯
  • 9个纳米压印技术
  • 8个电子束光刻
  • 8个淀积
  • 7个选择性刻蚀
  • 6个亚波长
  • 4个等离子体刻蚀

机构

  • 25个复旦大学
  • 2个中国科学院
  • 1个新疆农业大学
  • 1个上海大学
  • 1个中国农业科学...
  • 1个深圳出入境检...
  • 1个学研究院

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个高等学校科技...
  • 4个上海市教育委...
  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家留学基金
  • 1个教育部留学回...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个公益性行业科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家质检公益...
  • 1个国家质检总局...
  • 1个教育部“新世...
  • 1个上海市教育发...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个深圳出入境检...

传媒

  • 5个传感器与微系...
  • 3个强激光与粒子...
  • 2个Journa...
  • 2个复旦学报（自...
  • 2个第十三届全国...
  • 1个行政与法
  • 1个中国中医药信...
  • 1个中国医学计算...
  • 1个高等学校化学...
  • 1个河北学刊
  • 1个半导体技术
  • 1个美术观察
  • 1个食品工业科技
  • 1个中国动物检疫
  • 1个生物学杂志
  • 1个苏州大学学报...
  • 1个中州学刊
  • 1个华中农业大学...
  • 1个数学物理学报...
  • 1个电影新作

地区

  • 25个上海市
  • 1个广东省
共 26 条 记 录，以下是 1-10
陈宜方
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 波带片 高宽比 旋涂 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万景
供职机构：复旦大学
研究主题：晶体管 绝缘层上硅 掺杂 沟道 正反馈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘冉
供职机构：复旦大学
研究主题：解析模型 纳米压印技术 可见光 石墨烯 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈国平
供职机构：复旦大学
研究主题：有机磷农药 高K栅介质 光学 铁电材料 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张思超
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 深反应离子刻蚀 衬底 波带片 旋涂法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘建朋
供职机构：复旦大学
研究主题：高宽比 电子束光刻 波带片 自对准 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐晨
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 衬底 波带片 玻璃化 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈新萍
供职机构：复旦大学
研究主题：微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张有为
供职机构：复旦大学
研究主题：高K栅介质 石墨烯 过渡金属氧化物 金属氧化物薄膜 介质薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
仇志军
供职机构：复旦大学
研究主题：肖特基结 微电子 场效应晶体管 石墨烯 串联电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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