2025年4月3日
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刘利宾
作品数:
5
被引量:5
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
河北省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
杨立兵
河北工业大学信息工程学院微电子...
林娜娜
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙鸣
河北工业大学信息工程学院微电子...
王胜利
河北工业大学信息工程学院微电子...
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杨立兵
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 抛光 化学机械平坦化 抛光液 粗糙度
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
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林娜娜
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 插塞 钨
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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李振霞
供职机构:河北工业大学
研究主题:AL-MG 计算机硬盘 计算机 机械抛光 化学机械抛光
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甘小伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 去除速率 CMP 离子交换 采样保持电路
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王娜
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:半绝缘砷化镓 SI-GAAS 大直径 抛光液 离子注入
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田雨
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 表面粗糙度 磨料
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研究领域
项霞
供职机构:河北工业大学
研究主题:计算机硬盘 计算机 机械抛光 抛光
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