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肖志勇

作品数：5 被引量：21H指数：2
供职机构：北京大学微电子学研究院更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

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地区

  • 7个北京市
  • 1个广东省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭辉
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周荣春
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 操作系统 CAD系统 半导体加工 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
缪旻
供职机构：北京信息科技大学
研究主题：通孔 TSV 系统级封装 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武国英
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨振川
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金玉丰
供职机构：北京大学深圳研究生院
研究主题：通孔 键合 硅 MEMS 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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