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张云鹏
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:PID算法 伺服系统 程序控制 测量系统 LED光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾亚飞
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:测量系统 光刻机 非接触 仿真 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢秀镯
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:PID算法 刚度 非平面 光刻 键合机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
费玖海
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建亮
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:瓷片 LTCC 硅电池 线性电机 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶利权
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:点焊技术 半导体 晶体材料 微电子 自动切割机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊朋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP技术 氮化镓 化学机械抛光 晶片 抛光工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王洪宇
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:机械手 传输系统 硅片 机械手设计 LTCC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:步进电机驱动器 步进电机 混合式 驱动器 程序控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:半导体设备 Z轴 飞针测试 瓷片 LTCC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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