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赵玲利

作品数：64 被引量：77H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：北京市服装材料研究开发与评价重点实验室资助项目更多>>
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王守国
供职机构：中国科学院
研究主题：常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨景华
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾少霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张朝前
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 常压等离子体 绝缘介质 自由基 等离子体发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张超前
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：滚轴 接枝 采集器 表面改性 高频脉冲电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩传宇
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：自由基 等离子体发生器 常压等离子体 放电间隙 绝缘介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩传余
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：常压等离子体 常压 移动机械手 放电区 放电等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胥兴才
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 LPCVD 掩模 氮化硅 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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