您的位置： 专家智库 > >

解婧

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：文化科学电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个文化科学
  • 3个理学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个一般工业技术
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个医药卫生

主题

  • 5个淀积
  • 5个光刻
  • 5个光刻胶
  • 4个电池
  • 4个氧化硅薄膜
  • 4个湿法腐蚀
  • 4个刻蚀
  • 4个刻蚀工艺
  • 4个功率
  • 4个硅薄膜
  • 3个氮化硅
  • 3个氮化硅薄膜
  • 3个电化学腐蚀
  • 3个电学性能
  • 3个修饰
  • 3个旋涂
  • 3个退火
  • 3个抗腐蚀
  • 3个功率源
  • 2个弹性波

机构

  • 5个中国科学院
  • 1个四川大学
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个中国航空科学...
  • 2个中国科学院仪...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个天津市应用基...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个中国科学院战...
  • 1个中国科学院科...

传媒

  • 2个激光与光电子...
  • 2个航空兵器
  • 2个分析测试技术...
  • 1个半导体技术
  • 1个科学通报
  • 1个Journa...
  • 1个物理学报
  • 1个电子学报
  • 1个电子世界
  • 1个物理
  • 1个中国激光
  • 1个红外与毫米波...
  • 1个光子学报
  • 1个电源技术
  • 1个材料导报
  • 1个发光学报
  • 1个物理化学学报
  • 1个光谱学与光谱...
  • 1个仪表技术与传...
  • 1个光散射学报

地区

  • 4个北京市
  • 1个江苏省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨晋玲
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：谐振器 圆片级 电极 淀积 谐振结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘云飞
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：MEMS器件 光刻胶 电化学腐蚀 原电池 超高真空
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：掩膜 干法刻蚀 光刻胶 淀积 镍
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐龙娟
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：淀积 台面刻蚀 纳米阵列 太阳能电池 氮化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0