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张海涛

作品数:15 被引量:5H指数:1
供职机构:北京大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术文化科学经济管理更多>>

领域

  • 10个电子电信
  • 10个自动化与计算...
  • 6个理学
  • 5个化学工程
  • 5个金属学及工艺
  • 5个机械工程
  • 5个电气工程
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主题

  • 10个电路
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  • 6个电容式
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  • 5个电容
  • 4个单晶
  • 4个典型结构
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  • 3个单晶硅
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  • 3个氮化硅薄膜
  • 3个弹性梁
  • 3个蛋白
  • 3个导体

机构

  • 10个北京大学
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  • 1个北京广播学院
  • 1个北京交通大学
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  • 1个中国电子科技...
  • 1个山东大学(威...

资助

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  • 7个国家自然科学...
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  • 2个北京市自然科...
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  • 1个国家大学生创...
  • 1个“八五”国家...
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传媒

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  • 5个功能材料与器...
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  • 3个中国机械工程
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  • 2个物理
  • 2个机械强度
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地区

  • 10个北京市
10 条 记 录,以下是 1-10
于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 微悬臂梁传感器
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王小保
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 集成化 流量计 CMOS电路 大量程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李修函
供职机构:北京交通大学
研究主题:流体 超材料 扩散 刻蚀 微系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤雅权
供职机构:北京大学
研究主题:电极 电容式 谐振器 单片集成 亚微米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王颖
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马盛林
供职机构:北京大学
研究主题:键合 通孔 互连结构 制作方法 TSV
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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