2025年4月24日
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时慧玲
作品数:
4
被引量:16
H指数:3
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
侯丽辉
河北工业大学信息工程学院微电子...
张伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙薇
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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孙薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 SIO2 CU
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张伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
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侯丽辉
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 磨料 CU ULSI
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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崔春翔
供职机构:河北工业大学
研究主题:孕育剂 钛合金 磁性能 SM TI
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
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