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章宁琳
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H指数:3
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
沈勤我
中国科学院上海微系统与信息技术...
汪洋
中国科学院上海微系统与信息技术...
万青
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
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汪洋
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:量子点激光器 MEMS 外腔 致动器 遥控
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万青
供职机构:中国科学院
研究主题:衬底温度 氧化物 AL2O3 ZRO2 PZT铁电薄膜
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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林青
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:矫顽力 机械合金化 机械合金化制备 高能球磨 超高真空
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万青
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:纳米线 衬底温度 ZRO2薄膜 ZRO 电学性能
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万青
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:超高真空 硅片键合 绝缘埋层 绝缘层上硅 自加热效应
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汪扬
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光子带隙 光子晶体 超高真空 薄膜厚度 分子束外延
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