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肖志雄

作品数:6 被引量:61H指数:1
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领域

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地区

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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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武国英
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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张国炳
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构:北京大学
研究主题:电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘诗美
供职机构:北京大学
研究主题:多晶硅 氮化硅薄膜 版图设计 干法 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈文茹
供职机构:北京大学
研究主题:氮化硅薄膜 版图设计 干法 硅化物 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张录
供职机构:北京大学
研究主题:硅 探测器 离子注入 PIN光电二极管 反向漏电流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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