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王勇
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
浙江工程学院
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相关领域:
化学工程
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合作作者
姚奎鸿
浙江工程学院
余京松
浙江大学
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余京松
供职机构:浙江大学
研究主题:氮化硅 硅烷 SIH 工业气体 电子气体
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姚奎鸿
供职机构:浙江工程学院
研究主题:波导光学 PECVD 傅里叶变换红外光谱 二氧化硅薄膜 平面光波导
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