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何远东
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9
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
陈晨
中国电子科技集团公司第四十六研...
张伟才
中国电子科技集团公司第四十六研...
耿莉
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王云彪
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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陈晨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 锗单晶 英寸 硅-硅直接键合
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耿莉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 超薄 表面粗糙度 单晶
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王云彪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
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范红娜
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:清洗技术 抛光片 粗糙度 锗 研磨
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田原
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 粗糙度 抛光片 化学机械抛光 硅
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苏鹏飞
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅 厚度变化 翘曲度 损伤层
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闫萍
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 高阻 少子寿命
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陈亚楠
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光 清洗技术 硅抛光片 抛光垫
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