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张思超
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复旦大学
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相关领域:
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合作作者
陈宜方
复旦大学信息科学与工程学院专用...
陆冰睿
复旦大学
刘建朋
复旦大学信息科学与工程学院专用...
马亚琪
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谢珊珊
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陈宜方
供职机构:复旦大学
研究主题:电子束光刻 波带片 高宽比 掺杂 半导体
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陆冰睿
供职机构:复旦大学
研究主题:电子束光刻 光刻胶 纳米 旋涂 石墨烯
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谢珊珊
供职机构:复旦大学
研究主题:衬底 波带片 透镜 深反应离子刻蚀 掩蔽层
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马亚琪
供职机构:复旦大学
研究主题:纳米加工技术 彩色显示器 波长 亚波长 孔洞
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刘建朋
供职机构:复旦大学
研究主题:高宽比 电子束光刻 波带片 自对准 子层
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李欣
供职机构:复旦大学
研究主题:波带片 中国电影 士人画 衬底 高宽比
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徐晨
供职机构:复旦大学
研究主题:电子束光刻 衬底 波带片 玻璃化 表面粗糙度
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陈烁
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:大高宽比 高宽比 感应耦合等离子体刻蚀 深反应离子刻蚀 硬X射线
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肖体乔
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所
研究主题:X射线 X射线光学 成像 相衬成像 上海光源
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孙艳
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:大高宽比 高宽比 感应耦合等离子体刻蚀 深反应离子刻蚀 硬X射线
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