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贾棋
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
欧欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
黄凯
中国科学院上海微系统与信息技术...
游天桂
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
王镇
中国科学院上海微系统与信息技术...
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欧欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 缺陷层 键合 压电薄膜 谐振器
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黄凯
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缺陷层 衬底 键合 压电薄膜 晶圆
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游天桂
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 缺陷层 键合 晶圆 氧化镓
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
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尤立星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:单光子探测器 超导 纳米线 超导薄膜 单光子探测
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王镇
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:约瑟夫森结 超导 单光子探测器 纳米线 超导材料
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张伟君
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:单光子探测器 超导 纳米线 衬底 光敏面
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高波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:探测器 超导薄膜 超导转变 超导 离子注入
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黄浩
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子辐照 超导转变 离子注入 离子 探测器
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