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邓艳红

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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  • 4个刻蚀
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  • 4个江苏省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卉敏
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 O CHF 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔进
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：等离子体刻蚀 表面粗糙度 CHF 沟道 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周峰
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 O
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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