韩小波
- 作品数:4 被引量:25H指数:3
- 供职机构:东北大学机械工程与自动化学院更多>>
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- 相关领域:理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于溶胶凝胶法的二氧化锡复合薄膜的制备及表征被引量:5
- 2012年
- 以金属无机盐SnCl2.2H2O、CuCl2.2H2O和无水乙醇为原料,用溶胶凝胶法制备了SnO2和CuO掺杂的CuO-SnO2薄膜,并用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和电化学工作站对样品进行了表征。结果表明:随着退火温度的增加,薄膜结晶性变好,晶粒长大,电学特性增强,最佳退火温度确定为450℃。掺杂CuO的SnO2薄膜导电性好于同等条件下未掺杂的SnO2薄膜。SnO2呈四方相金红石结构,衍射峰显示薄膜中存在部分SnO。聚乙二醇的添加增强了SnO2的衍射峰,当超过一定添加量后将抑制晶粒的生长,并使得CuO-SnO2薄膜的导电性呈先减小后增大的趋势。丙三醇的添加可极大改善薄膜的表面形貌,增强了SnO2的衍射峰,且导电性明显变好。
- 李建昌王博锋单麟婷姜永辉韩小波巴德纯
- 关键词:电学特性
- 金属氧化物半导体薄膜气敏机理研究进展被引量:6
- 2011年
- 气体传感器的核心介质为气敏薄膜,而薄膜本身的特性有关键的影响,主要体现在薄膜微观结构如晶粒尺寸、膜厚、空隙率和有效表面积等方面。溶胶-凝胶法由于有方法简单及成膜温度低等优点,得到了广泛研究与应用。本文综述了溶胶-凝胶法制备的金属氧化物薄膜微纳结构与气敏机理进来的研究进展,结果表明最佳的晶粒尺寸约为10nm,最佳膜厚约为110 nm。在晶粒尺寸控制方面,通过控制煅烧温度与时间及在溶胶-凝胶过程中加入不同的添加剂,可有效优化晶粒尺寸提高灵敏度。最后,从能带结构角度总结了气敏传感器的电学特性及荷电传输机理,讨论了热电子发射理论和电子隧穿理论起主导作用时的薄膜微纳结构。
- 李建昌韩小波姜永辉巴德纯
- 关键词:金属氧化物薄膜半导体薄膜气体传感器溶胶-凝胶法
- 溶胶—凝胶法制备二氧化锡纳米复合薄膜及其电学特性研究
- 本文首先对金属氧化物半导体薄膜在气敏传感器上的应用进行了综述,发现在众多的金属氧化物半导体材料中,由于二氧化锡/(SnO2/)具有良好的电学、光学和气敏性能,故广泛应用于气敏传感器、太阳能电池、发光材料等领域。在综述的基...
- 韩小波
- 关键词:二氧化锡溶胶凝胶法氧化铜电学特性
- 文献传递
- SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展被引量:12
- 2010年
- 甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材料。科技人员进行了很多相关研究以提高传感器的性能,如新气敏材料的研究、催化剂/添加剂的使用、气敏机理的探索、传感器结构改进及气敏膜的表面修饰改性等。本文从气敏膜制备与改性、传感器结构设计及气敏机理研究三个方面,综述了近年来SnO2复合薄膜甲烷传感器的研究进展,结果表明:①应开发复合型金属氧化物半导体及高分子气敏材料,以提高灵敏度、选择性与稳定性;②研发微型智能传感器是未来发展的主要方向,而自组装技术应可用于制备金属氧化物半导体薄膜气体传感器微纳阵列;③气敏机理应与实验测试、材料设计及器件制备进行对照研究。
- 李建昌韩小波韩娜巴德纯
- 关键词:甲烷二氧化锡气体传感器