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文献类型

  • 20篇中文专利

主题

  • 11篇机械手
  • 5篇晶圆
  • 4篇通孔
  • 4篇转轴
  • 3篇导气
  • 3篇圆片
  • 3篇轴套
  • 3篇外侧壁
  • 3篇晶圆片
  • 3篇壳体
  • 2篇弹簧
  • 2篇导轮
  • 2篇导线
  • 2篇导线连接
  • 2篇导引
  • 2篇动轮
  • 2篇压板
  • 2篇张紧轮
  • 2篇正压
  • 2篇执行器

机构

  • 20篇沈阳新松机器...

作者

  • 20篇李学威
  • 20篇周道
  • 20篇温燕修
  • 18篇徐方
  • 13篇曲道奎
  • 9篇何以刚
  • 7篇张鹏
  • 6篇何书龙
  • 5篇边弘晔
  • 4篇张铁
  • 4篇王金涛
  • 2篇王凤利
  • 2篇吕光
  • 1篇王鲁非

年份

  • 2篇2016
  • 5篇2015
  • 3篇2014
  • 8篇2013
  • 2篇2012
20 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
侧翻大气机械手末端执行装置
一种侧翻大气机械手末端执行装置,包括一静手指、一夹持装置、一滑台气缸和一摆动气缸;所述滑台气缸具一移动端,该移动端通过一滑台摆缸连接架和所述摆动气缸连接在一起;所述摆动气缸具一输出轴,该输出轴通过一联轴器和一花键轴相连;...
何书龙徐方温燕修李学威管莉娜周道郑鋆张铁
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侧翻式机械手
一种侧翻式机械手,包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指,所述手指直接固定在旋转轴上,所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴,所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起,所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转...
徐方曲道奎李学威周道温燕修何书龙郑鋆王鲁非
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旋转限位机构
一种旋转限位机构,包括支架、主动轮、张紧轮、柔性缆绳及张紧弹簧,所述主动轮与张紧轮通过转动轴转动固定在所述支架上,所述柔性缆绳一端固定在所述主动轮的圆周上,另一端固定在所述张紧轮的圆周上,所述张紧弹簧的一端固定在所述张紧...
何以刚温燕修徐方李学威王金涛王凤利管莉娜周道
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多层回转限位机构
一种多层回转限位机构,所述多层回转限位机构包括一筒,所述筒内从下到上依次同心设置一压盖、一成对轴承压盖和一轴承压盖,所述压盖和所述成对轴承压盖之间设有转动传导装置,所述转动传导装置使所述压盖的转动达到设定角度后开始带动所...
郑鋆曲道奎徐方李学威张鹏温燕修周道边弘晔
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机械手末端执行器
一种机械手末端执行器,包括有手指及固定钳口,固定钳口固定在手指上,所述机械手末端执行器还包括有连接块、导向轴及随动导轮,连接块滑动安装在手指上,导向轴固定在连接块上,随动导轮转动固定在连接块上,手指能够相对导向轴的轴线转...
管莉娜曲道奎徐方李学威王金涛温燕修周道边弘晔
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一种真空吸附式机械手
本发明公开了一种真空吸附式机械手,包括大臂壳体、第一空心轴、小臂壳体、第二空心轴、下摆套、气管、护线盘、气管固定环、第一气管压板、第二气管压板、第一气管分隔架、第二气管分隔架、第三气管分隔架以及线卡。大臂壳体中设有气管固...
徐方何书龙周道温燕修曲道奎李学威
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具有导气环的机械手
一种机械手,包括有上手指腕轴及下手指腕轴,下手指腕轴套在上手指腕轴上,上手指腕轴与下手指腕轴中分别具有上手指气路与下手指气路,上手指腕轴与下手指腕轴之间设有导气环,上手指腕轴、下手指腕轴以及导气环能够共同绕一转轴相对转动...
徐方管莉娜曲道奎李学威温燕修周道张铁何以刚
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压力调整装置
一种压力调整装置,包括一收容室,所述收容室具有一底部,并在所述底部上设有若干与外界连通的通风孔,所述收容室内装设有独立送风单元及调整结构,所述调整结构具有上侧和下侧,所述调节结构设有若干通孔作为出风孔,所述调整结构的上侧...
郑鋆曲道奎徐方李学威张鹏温燕修周道边弘晔
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预对准装置
一种预对准装置,包括一用以夹持物体的夹持结构,所述夹持结构包括夹持件及转动件,所述夹持件及转动件之间连接一第一驱动器,所述物体夹持在所述夹持件及转动件之间,所述转动件连接一第二驱动器,所述第二驱动器驱使所述转动件绕一第一...
周道何以刚曲道奎徐方李学威张鹏温燕修管莉娜
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预对准机与机械手相对坐标系的标定方法
本发明公开了一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法,所述标定方法包括:第一、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系,机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系;第二、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′...
徐方吕光温燕修张鹏周道李学威
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共2页<12>
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