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离子注入对YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜超导性能的影响: 1991年; 本文报道了Ar和F离子注入对YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜电学性能及结构的影响,通过X射线衍射和电阻温度关系的测量研究了离子注入后YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜T_c,J_c和结构的变化。实验中发现,在低剂量注入情况下,T_c和J_c随着注入剂量的增加而下降。但是,上临界温度和X射线衍射谱却几乎保持不变。当Ar离子的注入剂量达到1.2×10^(13)Ar/cm^2时,样品发生金属一半导体相交。当注入剂量大于1.2×10^(13)Ar/cm^2时,样品的体超导性能基本上完全消失了,X射线衍射峰的强度也有所减弱,最终发生了晶态-非晶态相变,室温电阻率增加了好几个数量级。讨论了超导性能变化及金属一半导体相变的物理起因。; 李贻杰任琮欣陈国梁邹世昌; 关键词：YBACUO 离子注入超导性能

离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜被引量：1: 1997年; 采用离子束辅助沉积方法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷衬底上制备了ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特性测试结果表明，纯Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性优于纯ＴｉＯ２薄膜；掺入少量的Ｔｉ可使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性提高，以５ｍｏｌ％ＴｉＯ２掺杂的Ｎｂ２Ｏ５薄膜最佳；过量掺杂则使Ｎｂ２Ｏ５薄膜的氧敏特性明显变差。在５ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中再掺入少量的Ｐｔ（０３％０５％）可使其氧敏特性更好，而且其响应时间大大缩短。Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）和Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析表明，在退火后的ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中Ｎｂ２Ｏ５为单斜（Ｍｆｏｒｍ）结晶相，而掺杂的Ｔｉ以非晶的ＴｉＯ２形式存在，即使在高达３４ｍｏｌ％ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５薄膜中也不例外。纯ＴｉＯ２膜为金红石结构。不同退火温度（９００１１０００Ｃ）对薄膜的氧敏特性和结构无明显影响。; 牟海川任琮欣陈国梁陈国梁杨石奇朱建中; 关键词：氧化物半导体离子束辅助沉积

Ar离子注入YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜引起的结构相变: 1991年; 自从高T_C氧化物超导体发现以来,已经成功地用各种方法制备出了具有很高临界电流密度J_c的YBa_2Cu_3O_(7-x)高温超导薄膜,这为高温超导体在微电子学领域中的应用奠定了基础。离子注入技术作为材料改性和基础研究的一种手段在材料科学中已经得到了广泛的应用。YBo_2Cu_3O_(7-x)高温超导材料,由于其超导电性对化学无序和结构无序都非常敏感。; 李贻杰邹世昌任琮欣陈国梁陈建民; 关键词：超导体离子注入 YBACUO

退火条件对Y-Ba-Cu-O薄膜超导性能的影响: 1990年; 用XRD、XIFS及SEM等对比分析了不同退火温度或退火时间下Y-Ba-Cu-O薄膜的相结构、成份比及微结构等的变化。发现在860℃/1h的退火条件下,薄膜已形成了较为完全的超导相,而940℃/1h的退火条件将使薄膜失去超导性。当退火温度升到900℃以上时,Ba和Cu原子浓度百分比开始较快地下降。结合不同条件下的T_c测试数据及分析结果,提出了较为合适的退火条件。; 郑彦任琮欣陈国梁陈建民杨洁汪乐陈正秀柳襄怀谢雷鸣邹世昌; 关键词：超导薄膜超导性能钇钡

反应离子束镀膜制备高T_cY-Ba-Cu-O超导薄膜被引量：1: 1989年; 一、引言自1986年IBM苏黎士研究实验室Bednorz和Müller发现Ba—La—Cu—O高T_6超导氧化物后,高温超导发展迅猛。在弱电应用方面最有前景的氧化物超导薄膜尤其如此。目前,制备氧化物超导薄膜主要有两种方法:一是电子束蒸发,如IBM的Chaudhari等用三枪电子束共蒸Y、Ba、Cu,退火后获得零电阻为90K的Y—Ba—Cu—O超导薄膜,电流密度高达10~5A/cm^2(77K);国内北京大学物理系用电子束分层蒸发也获得了零电阻为84K的YBaCuO超导薄膜。另一种方法为溅射沉积。; 任琮欣陈国梁郑彦陈建民杨洁汪乐陈正秀柳襄怀谢雷鸣邹世昌; 关键词：超导薄膜离子束溅射镀膜

YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的离子束改性: 1991年; 本文主要研究了离子注入对YBa_7Cu_3O_(7-x)薄膜超导性质的影响.测量了Ar离子注入剂量与超导转变温度T_c之间的关系.实验结果表明,高质量的YBa_2Cu_3O_(7-x) 超导薄膜具有一定的抗辐照性.随着注入剂量的增加,临界电流密度I_c下降很快,但零电阻转变温度T_c却下降较慢.分析和讨论了离子注入对YBa_2Cu_3O_(7-x)中一维Cu-O链和二维Cu-O面的影响,探讨了离子束改性手段在YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜图形加工中应用的可能性.; 李贻杰任琮欣陈国梁陈建民邹世昌; 关键词：超导薄膜离子束改性 YBACUO

ZrO_2(YSZ)衬底和 YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导膜的相互作用被引量：1: 1989年; 研究了不同晶向的 ZrO_2(YSZ)与 YBa_2Cu_3O_(?)超导膜的相互作用。结果表明:衬底 ZrO_2的晶向对YBa_2Cu_3O_(7-δ)晶粒取向有明显影响,在<100>ZrO_2上制备的超导膜,超导晶粒 c 轴平行于衬底表面,出现择优取向;在 Y-Ba-Cu-O/ZrO_2上铜晶粒的析出是由于超导膜与 ZrO_2界面反应引起的;用俄歇能谱(AES)和背散射技术(RBS)都观察到了 Ba、Cu 原子向衬底的内扩散;同时,实验证实了在 ZrO_2衬底上热蒸发(?)薄层 Ag 对衬底反应有强压制作用,并在 YBa_2Cu_3O_(7-δ)/Ag/ZrO_2样品中观察到了超导晶粒 c 轴在垂直于衬底方向出现择优取向。; 陈建民郑彦陈国梁任琮欣杨洁谢雷鸣邹世昌; 关键词：超导体钇钡铜氧二氧化锆

单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究被引量：4: 1995年; 用单源低能氩离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）法制备了非晶碳薄膜．氩离子能量为４００－１５００ｅＶ．膜面光滑致密，与衬底的结合力较高。用Ｒａｍａｎ，ＦＴＩＲ，ＨＲＴＥＭ，ＴＥＤ，ＳＥＭ，ＥＲＤ及ＲＢＳ研究了薄膜的形貌、结构和组分，测量了膜的电阻率、显微硬度及摩擦系数．薄膜为无定形的类金刚石（ＤＬＣ）．其中含氢约为２０５ａｔ．－％，碳原子与氢原子几乎没有形成Ｃ－Ｈ键．随着离子束能量及束流的增加，显微硬度、摩擦系数增加，电阻率减小．硬度增加是由于薄膜致密度的增加，而电阻率降低是由于膜中金刚石键（ｓｐ~３键）含量减少的缘故．; 朱宏柳襄怀任琮欣陈国梁邹世昌; 关键词：离子束辅助沉积类金刚石显微结构

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陈国梁