胡小东
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：河北半导体研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- MEMS开关动态特性研究
- 针对我所研制的MEMS开关的开关特性进行测试和研究,采用不同频率,不同占空比的方波驱动信号,对该MEMS开关的频率特性进行研究,采用不同的负载测试MEMS开关的电流能力.上述测试表明:该MEMS开关的驱动电压小于50V,...
- 邹学锋胡小东吕苗赵正平
- 关键词：MEMS开关驱动电压
- 文献传递
- MEMS开关的失效模式及机理的分析被引量：10
- 2002年
- 主要探讨了微电子机械系统中普遍存在的失效模式及机理,对几种没有明确对应模式的失效机理也做了介绍。最后针对一种具体的微机械开关器件,研究了它的可靠性问题,给出了相应的可靠性提高措施。该微机械开关主要受限于两种失效模式,其中结构粘附主要发生在结构释放工艺,大大降低了成品率;而金属接触电极之间的压降引起的电弧现象,则对开关的工作寿命形成了严重限制。通过对几种结构释放工艺的比较,指出SCCO2是最佳的释放措施,并比较了几种不同的金属接触电极以降低电弧效应。该微机械开关的工作寿命已由初期的106开关次数提高到了普遍高于108开关次数。
- 胡小东
- 关键词：MEMS开关失效模式微机械开关可靠性
- 一个DC-32GHz两位微机械移相器(英文)
- 2004年
- 采用分布式微机械传输线结构实现了两位移相器 ,并且为了减小传输线负载电容和驱动电压首次提出了用共面波导传输线来驱动微机械桥的结构 (共面波导驱动结构 ) .结果显示驱动电压小于 2 0 V,2 0 GHz时两位移相器的相移为 0°/ 2 0 .1°/ 4 1.9°/ 6 8.2°,插入损耗为 - 1.2 d B.在 DC到 32 GHz的范围内相移具有良好的线性 ,插入损耗小于 - 1.8d B,反射损耗好于 - 11d B.实验结果表明了该结构在高介电常数衬底上制造低插损。
- 娄建忠赵正平杨瑞霞吕苗胡小东
- 关键词：微电子机械系统移相器
- 一种DC～5GHz串联微波开关的温度特性和功率处理能力的测试与分析(英文)被引量：2
- 2004年
- 描述了一种串联微波 MEMS开关的设计、制造过程 ,它制作在玻璃衬底上 ,采用金铂触点 ,在 DC～ 5 GHz,插损小于 0 .6 d B,隔离度大于 30 d B,开关时间小于 30μs.对这种微波开关的温度特性和功率处理能力进行了测试 ,在DC～ 4 GHz,85℃下的插损增加了 0 .2 d B,- 5 5℃下的插损增加了 0 .4 d B,而隔离度基本保持不变 .在开关中流过的连续波功率从 1 0 d Bm上升到 35 .1 d Bm ,开关的插损下降了 0 .1～ 0 .6 d B,并且在 35 .1 d Bm (3.2 4 W)下开关还能工作 .和所报道的并联开关最大处理功率 (4 2 0 m W)相比 。
- 吕苗赵正平娄建忠顾洪明胡小东李倩
- 关键词：MEMS开关温度特性EEACC
- 一种用于MEMS器件的可调节阻尼的圆片级封装方法
- 阻尼调节是微型惯性传感器设计和制造中的一个关键环节,本文采用圆片级封装在传感器可动结构的周围形成了几微米厚的气垫,并可以调节气垫的压力从0.1Pa～0.3MPa变化,再通过塑封实现了气密性封装.作为技术验证器件研制了高g...
- 吕苗胡小东何洪涛郑七龙徐淑静
- 关键词：圆片级封装MEMS器件
- 文献传递
