您的位置： 专家智库 > >

李世昌

作品数：7 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇片盒
  • 4篇重定位
  • 4篇光强
  • 4篇硅片
  • 2篇预处理
  • 2篇圆拟合
  • 2篇遮光
  • 2篇数据预处理
  • 2篇晶圆
  • 2篇控制方法
  • 2篇机械手
  • 2篇光场
  • 2篇硅晶
  • 2篇硅晶圆
  • 2篇采样
  • 2篇差值计算
  • 1篇控制系统

机构

  • 7篇清华大学

作者

  • 7篇宋亦旭
  • 7篇赵雁南
  • 7篇杨泽红
  • 7篇李世昌
  • 6篇贾培发
  • 6篇王家钦
  • 4篇邓志东
  • 2篇慕强

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 3篇2006
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
基于高精度预对准的硅片传输控制系统被引量：4
2008年
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证。然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的重定位环节进行了简要介绍。最后,给出了输片重复精度的试验结果。试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度。
宋亦旭杨泽红李世昌赵雁南
关键词：控制系统
片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法
本发明涉及片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。硅片状态检测方法为：设置光强阈值I<Sub>0</Sub>、I<Sub>1</Sub>，实时检测任一传感器对的光强为I<Sub>S1</Sub>，若I...
宋亦旭赵雁南杨泽红王家钦李世昌贾培发邓志东
文献传递
一种片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法
本发明涉及一种片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。该状态检测为：设置大、中、小光强阈值分别为I<Sub>01</Sub>、I<Sub>1</Sub>、I<Sub>2</Sub>，检测第一个传感器对...
宋亦旭赵雁南杨泽红王家钦李世昌贾培发邓志东
文献传递
硅晶圆预对准控制方法
本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及IC制造领域硅晶圆预对准的控制方法，包括：由硅晶圆的圆周采样、数据预处理、圆拟合和硅晶圆对心组成的硅晶圆定位方法；由缺口粗定位、缺口细采样、缺口拟合和将缺口中心旋转到指定的角度组成的...
宋亦旭李世昌赵雁南杨泽红王家钦贾培发慕强
文献传递
一种片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法
本发明涉及一种片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。该状态检测为：设置大、中、小光强阈值分别为I<Sub>O1</Sub>、I<Sub>1</Sub>、I<Sub>2</Sub>，检测第一个传感器对...
宋亦旭赵雁南杨泽红王家钦李世昌贾培发邓志东
文献传递
片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法
本发明涉及片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。硅片状态检测方法为：设置光强阈值I<Sub>0</Sub>、I<Sub>1</Sub>，实时检测任一传感器对的光强为I<Sub>S1</Sub>，若I...
宋亦旭赵雁南杨泽红王家钦李世昌贾培发邓志东
文献传递
硅晶圆预对准控制方法
本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及IC制造领域硅晶圆预对准的控制方法，包括：由硅晶圆的圆周采样、数据预处理、圆拟合和硅晶圆对心组成的硅晶圆定位方法；由缺口粗定位、缺口细采样、缺口拟合和将缺口中心旋转到指定的角度组成的...
宋亦旭李世昌赵雁南杨泽红王家钦贾培发慕强
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0