郭庆真
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：核科学技术电子电信更多>>
- 室温核辐射CdZnTe像素探测器的研制被引量：1
- 2011年
- 采用布里奇曼法生长的CdZnTe（CZT）单晶,制成室温核辐射像素探测器。首先通过红外透过显微（IRTM）成像、电阻率测量以及单元探测器能谱响应测试等手段,综合评定了探测器用CZT晶体的质量,结果表明,晶片富Te相密度为28.43 mm-2且尺寸分布较均匀,电阻率为1010Ω.cm;电子迁移率寿命积为1.07×10-3cm2/V,晶片质量完全达到像素探测器的制作要求。采用光刻及双层胶剥离技术在CZT晶片表面制备出4×4像素Au电极,制备出金属-半导体-金属（MSM）结构像素阵列探测器,并研究了像素探测器的H2O2溶液湿法钝化和低能氧离子轰击干法钝化工艺,钝化后16个像素在100 V偏压下的漏电流为0.79~1.2 nA。室温下测试像素探测器对未经准直的241Am@59.5 keVγ射线的能谱响应,结合Shockley-Ramo理论,分析了不同像素能谱响应的影响规律。
- 郭榕榕介万奇查钢强王涛徐亚东郭庆真
- 关键词：钝化能量分辨率
