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夏劲松

作品数：10 被引量：9H指数：2
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 4个一般工业技术
  • 3个自动化与计算...
  • 3个建筑科学
  • 3个理学
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  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个电气工程
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  • 1个矿业工程
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  • 1个动力工程及工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个核科学技术

主题

  • 5个湿法腐蚀
  • 5个微悬臂梁
  • 5个纳米
  • 5个刻蚀
  • 5个干法刻蚀
  • 5个感器
  • 5个传感
  • 5个传感器
  • 4个压电
  • 4个压电薄膜
  • 4个探针
  • 4个微机械
  • 4个微机械传感器
  • 4个纳米硅
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅
  • 2个氮化
  • 2个氮化硅
  • 2个导航
  • 2个等效刚度

机构

  • 5个大连理工大学
  • 1个吉林大学
  • 1个清华大学
  • 1个教育部
  • 1个中国科学院
  • 1个中国石油大学...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个北京四方继保...
  • 1个中国科学院长...

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 3个辽宁省自然科...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个中央高校基本...
  • 1个高等学校骨干...
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  • 1个国家教育部博...

传媒

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  • 3个光学精密工程
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  • 3个微纳电子技术
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  • 1个电化学
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  • 1个焊接
  • 1个科学通报
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  • 1个机械工程学报
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  • 1个物理学报
  • 1个制造技术与机...
  • 1个科技导报

地区

  • 4个辽宁省
  • 1个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
崔岩
供职机构：大连理工大学
研究主题：大气光学 PZT薄膜 天空 微力传感器 压电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王立鼎
供职机构：北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题：微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 MEMS 精密加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石二磊
供职机构：大连理工大学
研究主题：硅尖 各向异性腐蚀 干法刻蚀 湿法腐蚀 微悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵佳欣
供职机构：大连理工大学
研究主题：压电薄膜 干法刻蚀 纳米压印 纳米硅 微机械传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张吕权
供职机构：大连理工大学
研究主题：压电 压电薄膜 干法刻蚀 纳米压印 纳米硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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