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胡晓凯
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
张磊
中国科学院上海微系统与信息技术...
汪海波
中国科学院上海微系统与信息技术...
秦飞
中国科学院上海微系统与信息技术...
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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汪海波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 阳离子交换树脂 磨料 大粒径 比例控制
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张磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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潘忠才
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:水玻璃 超纯 硅溶胶 常压 反应温度
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秦飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:命中 前飞 直升机 超宽带信号 超宽带
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张泽芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 氧化硅 抛光液 蓝宝石 氧化铈
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