2024年11月6日
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常学森
作品数:
17
被引量:67
H指数:5
供职机构:
东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
理学
环境科学与工程
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合作作者
刘坤
东北大学机械工程与自动化学院真...
巴德纯
东北大学机械工程与自动化学院真...
杨乃恒
东北大学机械工程与自动化学院真...
李涛
东北大学机械工程与自动化学院真...
陈瑶
东北大学机械工程与自动化学院真...
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巴德纯
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
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刘坤
供职机构:辽宁科技大学
研究主题:数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
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杨乃恒
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:真空泵 抽气 分子泵 高真空 涡轮分子泵
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李涛
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:干式真空泵 干泵 高真空 动力学 LF
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陈瑶
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题:干式真空泵 干泵 高真空 层压工艺 半导体设备
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闻立时
供职机构:中国科学院金属研究所
研究主题:电弧离子镀 磁控溅射 脉冲偏压 靶材 脉冲偏压电弧离子镀
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张健
供职机构:中国科学院金属研究所
研究主题:单晶高温合金 定向凝固 镍基单晶高温合金 高温合金 电火花沉积
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张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
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王光玉
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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研究领域
李飞
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题:磁控溅射 磁控反应溅射 磁场强度 氧流量 TIO_2薄膜
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