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张锦文

作品数：51 被引量：138H指数：6
供职机构：北京大学更多>>
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金玉丰
供职机构：北京大学深圳研究生院
研究主题：通孔 键合 硅 MEMS 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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林晨
供职机构：北京大学
研究主题：激光 质子束 毛细管 金刚石 弧光放电
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缪旻
供职机构：北京信息科技大学
研究主题：通孔 TSV 系统级封装 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周吉龙
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 真空封装 咬合 高深宽比 单晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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陈长串
供职机构：北京大学
研究主题：放射性同位素 电学隔离 碳纳米管 异质结 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武国英
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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