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6 条 记 录,以下是 1-6
杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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王守国
供职机构:中国科学院
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玲利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张学一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:采集器 光栅 光学特性 激光光源 相干
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈鲁
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面等离激元 散射 反射光 晶圆 金薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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