您的位置： 专家智库 > >

陈焱

作品数：17 被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信医药卫生文化科学化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 6个自动化与计算...
  • 6个文化科学
  • 2个机械工程
  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个医药卫生
  • 1个社会学

主题

  • 10个电路
  • 10个电路制造
  • 10个集成电路
  • 10个集成电路制造
  • 10个半导体
  • 9个晶片
  • 9个光刻
  • 8个光刻胶
  • 7个喷嘴
  • 7个显影
  • 7个晶圆
  • 7个感器
  • 6个片盒
  • 6个硅片
  • 5个制程
  • 4个旋转轴
  • 4个涂胶
  • 4个清洗液
  • 4个转轴
  • 3个旋转盘

机构

  • 13个沈阳芯源微电...
  • 1个大连理工大学
  • 1个哈尔滨工业大...

资助

  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个黑龙江省高等...
  • 1个教育部人文社...

传媒

  • 5个中国高新科技
  • 2个机械工程师
  • 2个半导体技术
  • 1个控制与决策
  • 1个中国高新技术...
  • 1个黑龙江高教研...
  • 1个自动化技术与...
  • 1个电子工业专用...
  • 1个装备制造技术
  • 1个电子与封装
  • 1个科技经济导刊

地区

  • 13个辽宁省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
谷德君
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：硅片 保护装置 薄片状 旋转轴 旋转盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗润福
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永斌
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：薄片状 硅片 交叉污染 微电子 酸雾
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康宁
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：传感器 半导体行业 硅片 集成电路制造 电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王绍勇
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张军
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 半导体晶片 控制程序 连接板 轴承座
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李东海
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体晶片 星型结构 六边形 显影 涂胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑春海
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘正伟
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 激光传感器 控制精度 伺服控制系统 光电传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0