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惠峰

作品数：30 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 13个抛光
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  • 8个砷化镓晶体
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机构

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传媒

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地区

  • 21个北京市
  • 1个重庆市
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卜俊鹏
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：砷化镓 GAAS 抛光晶片 抛光 亚表面损伤层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑红军
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱蓉辉
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高永亮
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：微缺陷 VGF LEC 温控设备 GAAS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵冀
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹福年
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SI-GAAS 砷化镓 亚表面损伤层 GAAS SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴让元
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：砷化镓 SI-GAAS GAAS 化学机械抛光 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何宏家
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：砷化镓 GAAS SI-GAAS 半绝缘 GAAS单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文军
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：温控设备 垂直梯度 超声处理 超声波发生器 LED外延片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白玉珂
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：亚表面损伤层 SI-GAAS GAAS 单晶炉 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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