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马亚琪

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个机械工程
  • 3个理学
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 4个电子束光刻
  • 4个亚波长
  • 3个氮化
  • 3个氮化硅
  • 3个氮化硅薄膜
  • 3个等离子体
  • 3个等离子体刻蚀
  • 3个底盘
  • 3个电子束曝光
  • 3个电子束曝光技...
  • 3个淀积
  • 3个旋涂
  • 3个旋涂法
  • 3个掩蔽层
  • 3个衍射
  • 3个衍射效率
  • 2个导热
  • 2个导热率
  • 2个电传感器
  • 2个电子器件

机构

  • 4个复旦大学

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家留学基金
  • 1个国家重点基础...
  • 1个高等学校科技...
  • 1个上海市教育委...

传媒

  • 3个强激光与粒子...
  • 1个传感器与微系...
  • 1个2011上海...

地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
陆冰睿
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 光刻胶 纳米 旋涂 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宜方
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 波带片 高宽比 光刻胶 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张思超
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 深反应离子刻蚀 衬底 波带片 旋涂法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘建朋
供职机构：复旦大学
研究主题：高宽比 电子束光刻 波带片 自对准 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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